光刻机的对准系统的精度，对光刻机的芯片曝光有很大的影响
目前国内的对准系统研究的精度，勉强可以应用要1.5微米的制造工艺上
不过，要特别注明的一点就是，在欧美日，此时已经实现了光刻机上的自动对焦，而国内只能是手动对准
别人的光刻机，单位时间能曝光两百多块晶圆片，而国产的只能曝光十几块
这意味着我们自家生产的，只能在实验室里用用，无法投入到商业应用当中，不然，这成本就能拖死一家芯片加工厂
光刻机的对准系统的精度，对光刻机的芯片曝光有很大的影响
我有一个剑仙娘子：练笔新书《不是吧君子也防》已上架(小声) 发表于 2023-01-11 09:30:00目前国内的对准系统研究的精度，勉强可以应用要1.5微米的制造工艺上
纠缠：79 番外：包子 发表于 2017-11-02 01:19:57不过，要特别注明的一点就是，在欧美日，此时已经实现了光刻机上的自动对焦，而国内只能是手动对准
医婿：第三千八百七十六章 凌氏家主到 发表于 2024-06-09 12:21:53别人的光刻机，单位时间能曝光两百多块晶圆片，而国产的只能曝光十几块
开局朝九晚五唐三藏：第630章 再开鸿蒙（大结局） 发表于 2021-05-29 13:06:00这意味着我们自家生产的，只能在实验室里用用，无法投入到商业应用当中，不然，这成本就能拖死一家芯片加工厂
娇娇娘子(都市风月奇谭)：第778章【温斯莱特女神】 发表于 2019-06-21 16:20:00